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真空核心零部件

APC自動控壓插板閥
APC(Automatic Pressure Control,APC)自動壓力調節(jié)插板閥應用于真空腔室的壓力調節(jié)或真空隔斷,控制精度高,響應速度快,震動噪音小。
閥板作為調節(jié)元件,通過不同位置改變閥門通經流導大小,控制主抽泵的有效抽速。APC控制器根據腔體容積、流量等條件自學習,自動建立壓力控制參數。用戶上位機輸入設定工藝真空壓力,APC壓力控制器通過與壓力傳感器實時反饋腔體壓力值比對,自動計算所需閥板位置,快速精準到達預定位置并適當微調,以獲得設定的真空壓力值。

性能指標

外形尺寸圖

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