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工藝過程裝備

多工位檢漏系統(tǒng)
對(duì)元器件內(nèi)部抽真空后在外表面噴氦氣，并通過連接的氦質(zhì)譜檢漏儀，對(duì)元器件進(jìn)行檢漏。

性能指標(biāo)

多工位檢漏系統(tǒng) 性能指標(biāo).png

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